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更新時間：
2022-03-31 13:28:52
字號：
T
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工業用的氣體統稱電子氣體。按其門類可分為純氣，高純氣和半導體特殊材料氣體三大類。特殊材料氣體主要用于外延，摻雜和蝕刻工藝；高純氣體主要用作稀釋氣和運載氣。電子氣體是特種氣體的一個重要分支。電子氣體按純度等級和使用場合，可分為電子級，LSI（
大規模集成電路
）級，VLSI（超大規模集成電路)級和ULSI(特大規模集成電路）級。
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